賀德(de)克HYDAC壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的基(ji)本原(yuan)理(li)

賀(he)德克(ke)HYDAC壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的基(ji)本原(yuan)理(li)

賀德(de)克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)信(xin)息融合技(ji)術(shu)的基(ji)本原(yuan)理(li)就像(xiang)人的大(da)腦綜(zong)合處理(li)信(xin)息的過(guo)程(cheng)壹(yi)樣，將各種賀(he)德克(ke)壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)進行多層(ceng)次(ci)、多空間的(de)信(xin)息互補和(he)優化(hua)組合處(chu)理(li)，zui終(zhong)產(chan)生(sheng)對(dui)觀測(ce)環(huan)境(jing)的(de)壹(yi)致性解(jie)釋。在(zai)這個(ge)過(guo)程(cheng)中要(yao)充分(fen)地(di)利(li)用多源(yuan)數(shu)據進行合(he)理(li)支(zhi)配(pei)與(yu)使(shi)用(yong)，而(er)信(xin)息融合的(de)zui終(zhong)目(mu)標(biao)則是基(ji)於(yu)各賀德(de)克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)獲得的(de)分離觀測(ce)信(xin)息，通過(guo)對(dui)信(xin)息多級(ji)別、多方(fang)面(mian)組合導出(chu)更多有用(yong)信(xin)息。這不僅是利用(yong)了多個(ge)賀德克(ke)壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)相互(hu)協同(tong)操作的優勢(shi)，而(er)且也(ye)綜合(he)處(chu)理(li)了其(qi)它信(xin)息源(yuan)的(de)數(shu)據來提高(gao)整個(ge)賀德克(ke)壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)系統(tong)的智(zhi)能化(hua)。

壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)是使(shi)用(yong)的壹(yi)種賀(he)德(de)克(ke)壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)。傳統(tong)的平(ping)膜(mo)壓(ya)變(bian)壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)以機(ji)械結(jie)構(gou)型的(de)器(qi)件(jian)為主(zhu)，以彈(dan)性元(yuan)件(jian)的形(xing)變(bian)指示(shi)壓(ya)力，但這種結(jie)構(gou)尺寸(cun)大(da)、質(zhi)量重(zhong)，不能提供(gong)電(dian)學輸(shu)出(chu)。隨著半導體技(ji)術(shu)的發(fa)展，半(ban)導體壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)也(ye)應運(yun)而(er)生(sheng)。其特(te)點是體積(ji)小、質(zhi)量輕(qing)、準確度(du)高、溫度(du)特性好。特別是隨著MEMS技術(shu)的發(fa)展，半(ban)導體賀(he)德克(ke)壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)向著微型化(hua)發(fa)展，而(er)且其(qi)功(gong)耗小、可(ke)靠(kao)性高(gao)。

半(ban)導體壓(ya)電(dian)阻型

半(ban)導體壓(ya)電(dian)阻抗(kang)擴散壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)是在(zai)薄(bo)片(pian)表面(mian)形(xing)成(cheng)半(ban)導體變(bian)形(xing)壓(ya)力，通(tong)過(guo)外力（壓(ya)力）使(shi)薄(bo)片(pian)變(bian)形(xing)而(er)產(chan)生(sheng)壓(ya)電(dian)阻抗(kang)效果，從(cong)而(er)使(shi)阻(zu)抗的變(bian)化(hua)轉(zhuan)換(huan)成(cheng)電(dian)信(xin)號。

靜(jing)電(dian)容量(liang)型

靜(jing)電(dian)容量(liang)型壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)，是將玻璃(li)的(de)固定(ding)極和矽(gui)的(de)可動極相對(dui)而(er)形(xing)成(cheng)電(dian)容，將通過(guo)外力（壓(ya)力）使(shi)可(ke)動極變(bian)形(xing)所產(chan)生(sheng)的靜(jing)電(dian)容量(liang)的變(bian)化(hua)轉(zhuan)換(huan)成(cheng)電(dian)氣(qi)信(xin)號。（E8Y的(de)動(dong)作原(yuan)理(li)便是(shi)靜電(dian)容量(liang)方式(shi)，其他機(ji)種(zhong)采(cai)用(yong)半(ban)導體方(fang)式）。

無(wu)法(fa)避免(mian)誤差

在(zai)選擇(ze)壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的時(shi)候我們要(yao)考(kao)慮他的(de)綜合(he)精度(du)，而(er)壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的精(jing)度(du)受哪些(xie)方(fang)面(mian)的影響(xiang)呢?其(qi)實造成(cheng)賀(he)德(de)克(ke)壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)誤差的因素(su)有很(hen)多，下(xia)面(mian)我們註(zhu)意(yi)說(shuo)四(si)個(ge)無(wu)法(fa)避免(mian)的誤差，這是賀德(de)克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的初(chu)始(shi)誤差。

首(shou)先的(de)偏移(yi)量(liang)誤差：由於(yu)壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)在(zai)整個(ge)壓(ya)力範(fan)圍(wei)內垂(chui)直(zhi)偏(pian)移(yi)保持(chi)恒(heng)定(ding)，因此變(bian)換(huan)器(qi)擴散和(he)激(ji)光(guang)調(tiao)節(jie)修正的變(bian)化(hua)將產(chan)生(sheng)偏移(yi)量(liang)誤差。

其次(ci)是(shi)靈敏(min)度(du)誤差：產(chan)生(sheng)誤差大(da)小與(yu)壓(ya)力成(cheng)正(zheng)比。如果(guo)設(she)備的靈(ling)敏(min)度(du)高於典型值，靈敏(min)度(du)誤差將是壓(ya)力的(de)遞(di)增(zeng)函數(shu)。如果(guo)靈(ling)敏(min)度(du)低於典(dian)型值，那麽(me)靈(ling)敏(min)度(du)誤差將是壓(ya)力的(de)遞(di)減(jian)函數(shu)。該誤差的產(chan)生(sheng)原(yuan)因在(zai)於擴散過(guo)程(cheng)的變(bian)化(hua)。

第三是(shi)線(xian)性(xing)誤差：這是壹(yi)個(ge)對(dui)壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)初(chu)始(shi)誤差影響(xiang)較(jiao)小的(de)因素(su)，該誤差的產(chan)生(sheng)原(yuan)因在(zai)於矽(gui)片(pian)的物(wu)理(li)非線(xian)性(xing)，但對(dui)於帶(dai)放(fang)大(da)器(qi)的賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)，還應包括放(fang)大(da)器(qi)的非線(xian)性(xing)。線(xian)性(xing)誤差曲線(xian)可(ke)以是(shi)凹(ao)形(xing)曲(qu)線(xian)，也(ye)可以是(shi)凸形(xing)曲(qu)線(xian)稱(cheng)重(zhong)賀德克(ke)壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)。

zui後是(shi)滯後誤差：在(zai)大(da)多數(shu)情(qing)形(xing)中(zhong)，壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的滯後誤差*可以忽(hu)略(lve)不計，因為矽(gui)片(pian)具有很(hen)高的(de)機(ji)械剛(gang)度(du)。壹(yi)般只需在(zai)壓(ya)力變(bian)化(hua)很(hen)大(da)的(de)情(qing)形(xing)中(zhong)考(kao)慮滯後誤差。

壓(ya)力賀(he)德克壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的這個(ge)四(si)個(ge)誤差是無(wu)法(fa)避免(mian)的，我們只能選擇高精度(du)的生(sheng)產(chan)設(she)備，利用(yong)高(gao)新(xin)技術(shu)來降(jiang)低這些(xie)誤差，還可(ke)以在(zai)出(chu)廠的(de)時(shi)候進行壹(yi)點的誤差校準(zhun)，盡(jin)zui大(da)的(de)可能來降低誤差以滿(man)足(zu)客(ke)戶(hu)的需要(yao)。

賀德(de)克HYDAC壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的基(ji)本原(yuan)理(li)