德(de)國(guo)HYDAC壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)原理與(yu)應(ying)用

    德(de)國(guo)hydac壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)利(li)用應(ying)變電阻式(shi)工作(zuo)原(yuan)理，采(cai)用(yong)矽(gui)- 藍(lan)寶(bao)石作(zuo)為(wei)半導體(ti)敏感元(yuan)件(jian)，具(ju)有的(de)計(ji)特(te)性。
藍寶石系(xi)由單晶(jing)體(ti)絕(jue)緣體(ti)元(yuan)素(su)組(zu)成，不會發(fa)生滯(zhi)後、疲勞(lao)和蠕(ru)變(bian)現象(xiang)；藍寶(bao)石(shi)比矽(gui)要(yao)堅(jian)固，硬(ying)度(du)更(geng)高(gao)，不怕形變；藍(lan)寶(bao)石有著(zhe)非常(chang)好的(de)彈(dan)性和絕(jue)緣特(te)性(1000 OC 以(yi)內(nei))，因(yin)此，利(li)用矽(gui)- 藍(lan)寶(bao)石制(zhi)造的(de)半導體(ti)敏感元(yuan)件(jian)，對溫度(du)變(bian)化不敏感，即使在高(gao)溫條(tiao)件(jian)下(xia)，也(ye)有(you)著(zhe)很(hen)好的(de)工作(zuo)特(te)性；藍寶石的(de)抗(kang)輻(fu)射(she)特(te)性*；另外(wai)，矽(gui)- 藍(lan)寶(bao)石半導體(ti)敏感元(yuan)件(jian)，無(wu)p-n 漂(piao)移，因此，從(cong)根本上(shang)簡(jian)化了(le)制(zhi)造工藝，提(ti)高(gao)了(le)重復性，確保了(le)高(gao)成品率。
用矽(gui)- 藍(lan)寶(bao)石半導體(ti)敏感元(yuan)件(jian)制(zhi)造的(de)壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)和變(bian)送(song)器(qi)，可在(zai)zui惡(e)劣的(de)工作(zuo)條(tiao)件(jian)下(xia)正常工作(zuo)，並(bing)且(qie)可(ke)靠性高(gao)、精(jing)度好、溫度(du)誤(wu)差(cha)極(ji)小、性價(jia)比高(gao)。
表壓(ya)壓(ya)壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)和變(bian)送(song)器(qi)由雙膜片構(gou)成：鈦合金(jin)測(ce)量膜片和鈦(tai)合金(jin)接收膜片。印刷有(you)異(yi)質外(wai)延性(xing)應(ying)變靈(ling)敏電橋電路(lu)的(de)藍(lan)寶石(shi)薄片，被焊(han)接在鈦(tai)合金(jin)測(ce)量膜片上(shang)。被測(ce)壓(ya)力傳(chuan)送(song)到(dao)接收膜片上(shang)(接收膜片與(yu)測量膜(mo)片之(zhi)間(jian)用拉桿(gan)堅(jian)固(gu)的(de)連接在壹起)。在(zai)壓(ya)力的(de)作(zuo)用(yong)下(xia)，鈦(tai)合金(jin)接收膜片產(chan)生形變，該(gai)形變被矽(gui)- 藍(lan)寶(bao)石敏感元(yuan)件(jian)感知(zhi)後(hou)，其(qi)電橋輸(shu)出(chu)會(hui)發(fa)生變(bian)化，變化的(de)幅(fu)度與(yu)被測(ce)壓(ya)力成正比。hydac傳(chuan)感器(qi)的(de)電路(lu)能(neng)夠(gou)保證應(ying)變電橋電路(lu)的(de)供電，並將(jiang)應(ying)變電橋的(de)失(shi)衡(heng)信(xin)號轉換為(wei)統(tong)壹的(de)電信(xin)號輸出(chu)(0-5 ，4-20mA或(huo)0-5V)。在(zai)絕(jue)壓(ya)壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)和變(bian)送(song)器(qi)中，藍(lan)寶(bao)石薄(bo)片，與(yu)陶瓷(ci)基極玻璃焊料連接在壹起，起(qi)到(dao)了(le)彈(dan)性元(yuan)件(jian)的(de)作(zuo)用(yong)，將(jiang)被測(ce)壓(ya)力轉換為(wei)應(ying)變片形變，從(cong)而(er)達到(dao)壓(ya)力測(ce)量(liang)的(de)目(mu)的(de)。
壓(ya)電壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)原理與(yu)應(ying)用
   

    德(de)國(guo)hydac壓(ya)力變(bian)送(song)器(qi)也(ye)稱(cheng)差(cha)變(bian)送(song)器(qi)，主(zhu)要(yao)由(you)測壓(ya)元(yuan)件(jian)傳(chuan)感器(qi)、模塊電路(lu)、顯示(shi)表(biao)頭(tou)、表殼和過程連接件等(deng)組成。它(ta)能(neng)將(jiang)接收的(de)氣體(ti)、液體(ti)等(deng)壓(ya)力信(xin)號轉變成標準的(de)電流(liu)電壓(ya)信(xin)號，以(yi)供給(gei)指(zhi)示(shi)報警(jing)儀(yi)、記(ji)錄儀(yi)、調節(jie)器(qi)等(deng)二次(ci)儀(yi)表(biao)進行測(ce)量、指(zhi)示(shi)和過程調節(jie)。
    hydac壓(ya)力變(bian)送(song)器(qi)的(de)測(ce)量原(yuan)理圖如圖3所示(shi)。其(qi)測(ce)量(liang)原理是(shi)：流(liu)程壓(ya)力和參考壓(ya)力分別(bie)作(zuo)用(yong)於(yu)集(ji)成矽(gui)壓(ya)力敏(min)感元(yuan)件(jian)的(de)兩(liang)端，其(qi)差(cha)壓(ya)使矽(gui)片變(bian)形（位移很小，僅μm級），以(yi)使(shi)矽(gui)片上(shang)用半導體(ti)技術(shu)制(zhi)成的(de)全(quan)動態惠(hui)斯登(deng)電橋在(zai)外(wai)部(bu)電流(liu)源(yuan)驅動下(xia)輸(shu)出(chu)正比於(yu)壓(ya)力的(de)mV級電壓(ya)信(xin)號。由於(yu)矽(gui)材料的(de)強性，所(suo)以(yi)輸(shu)出(chu)信(xin)號的(de)線性度及變差(cha)指(zhi)標均很高(gao)。工作(zuo)時(shi)，壓(ya)力變(bian)送(song)器(qi)將(jiang)被測(ce)物(wu)理量(liang)轉換成mV級的(de)電壓(ya)信(xin)號，並送(song)往(wang)放(fang)大倍數很高(gao)而又(you)可以(yi)互相(xiang)抵消(xiao)溫度(du)漂(piao)移的(de)差(cha)動式(shi)放大器(qi)。放大後的(de)信(xin)號經(jing)電壓(ya)電流(liu)轉換變(bian)換(huan)成相(xiang)應(ying)的(de)電流(liu)信(xin)號，再經(jing)過非(fei)線性校正，zui後產(chan)生與(yu)輸入(ru)壓(ya)力成線性對應(ying)關系(xi)的(de)標(biao)準電流(liu)電壓(ya)信(xin)號。
壓(ya)力變(bian)送(song)器(qi)根據(ju)測(ce)壓(ya)範圍可(ke)分成壹般壓(ya)力變(bian)送(song)器(qi)（0.001MPa～20MP3）和微(wei)差(cha)壓(ya)變送(song)器(qi)（0～30kPa）兩(liang)種。 
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