傳感器(qi)原(yuan)理(li)及(ji)其應(ying)用

傳感器(qi)原(yuan)理(li)及(ji)其應(ying)用
    摘(zhai)要：在(zai)科學(xue)技術(shu)高速(su)發展的現代(dai)社會中，人(ren)類已(yi)經(jing)入(ru)瞬息萬(wan)變(bian)的信(xin)息時代(dai)，人(ren)們(men)在(zai)日常生活(huo)，生(sheng)產(chan)過程(cheng)中，主(zhu)要依(yi)靠(kao)檢(jian)測技(ji)術對(dui)信(xin)息經(jing)獲(huo)取、篩選(xuan)和(he)傳輸，來(lai)實(shi)現(xian)制(zhi)動(dong)控(kong)制，自動調節(jie)，目前我國(guo)已(yi)將(jiang)檢(jian)測技(ji)術列入(ru)優先(xian)發展的科學(xue)技(ji)術之(zhi)壹(yi)。 由(you)於(yu)微電子(zi)技術，光(guang)電半導(dao)體(ti)技(ji)術(shu)，光(guang)導(dao)纖(xian)維技術(shu)以(yi)及(ji)光(guang)柵技(ji)術(shu)的發展，使得(de)光(guang)電傳感器(qi)的應(ying)用與日俱增(zeng)。這種(zhong)傳感器(qi)具(ju)有(you)結(jie)構簡(jian)單(dan)、非(fei)接觸、高可(ke)靠(kao)性、高精(jing)度、可測(ce)參(can)數多、反(fan)應(ying)快以及(ji)結(jie)構簡(jian)單(dan),形(xing)式靈(ling)活(huo)多樣等(deng)優(you)點，在(zai)自動(dong)檢(jian)測技(ji)術中得(de)到(dao)了廣泛(fan)應(ying)用，它壹(yi)種(zhong)是以(yi)光(guang)電效應(ying)為理(li)論(lun)基礎，由光(guang)電材(cai)料構成(cheng)的器(qi)件。

    壹(yi)、傳感器(qi)簡(jian)介(jie)    

    傳感器(qi)（英(ying)文(wen)名(ming)稱(cheng)：transducer/sensor）是壹(yi)種(zhong)檢(jian)測裝(zhuang)置，能感受(shou)到(dao)被測量的信(xin)息，並能將(jiang)感受(shou)到(dao)的信(xin)息，按壹(yi)定規律(lv)變(bian)換(huan)成為電信(xin)號或(huo)其他(ta)所需(xu)形式的信(xin)息輸出(chu)，以(yi)滿(man)足(zu)信(xin)息的傳輸、處理(li)、存(cun)儲(chu)、顯(xian)示、記錄(lu)和控(kong)制等(deng)要(yao)求(qiu)。它(ta)是實(shi)現(xian)自(zi)動(dong)檢(jian)測和(he)自動控制的首要環(huan)節(jie)。  

   （1）、傳感器(qi)定義及(ji)分(fen)類

    信(xin)息處理(li)技(ji)術取得(de)的進展以(yi)及(ji)微處理(li)器(qi)和(he)計(ji)算(suan)機(ji)技(ji)術的高速(su)發展，都需(xu)要(yao)在(zai)傳感器(qi)的開(kai)發(fa)方(fang)面(mian)有(you)相應(ying)的進展。微處理(li)器(qi)現(xian)在(zai)已(yi)經(jing)在(zai)測量和控制系統中得(de)到(dao)了廣泛(fan)的應(ying)用。隨著這些(xie)系統能力(li)的增強(qiang)，作(zuo)為信(xin)息采集系統的前端(duan)單(dan)元(yuan)，傳感器(qi)的作用越(yue)來越(yue)重要。傳感器(qi)已(yi)成為自(zi)動(dong)化系統和機(ji)器(qi)人(ren)技術(shu)中的關鍵(jian)部(bu)件，作為系統中的壹(yi)個(ge)結(jie)構組(zu)成(cheng)，其重要性變(bian)得(de)越(yue)來越(yue)明顯。  zui廣義(yi)地來說(shuo)，傳感器(qi)是壹(yi)種(zhong)能(neng)把物(wu)理(li)量或化學量轉變(bian)成(cheng)便(bian)於(yu)利(li)用的電信(xin)號的器(qi)件。電工委員(yuan)會(IEC:International Electrotechnical Committee)的定義為：“傳感器(qi)是測(ce)量系統中的壹(yi)種(zhong)前(qian)置部(bu)件，它將(jiang)輸入(ru)變(bian)量轉換(huan)成(cheng)可(ke)供測(ce)量的信(xin)號”。按(an)照(zhao)Gopel等(deng)的說(shuo)法(fa)是：“傳感器(qi)是包(bao)括承(cheng)載體和(he)電路連接的敏(min)感元(yuan)件”，而“傳感器(qi)系統則是組(zu)合(he)有(you)某(mou)種信(xin)息處理(li)(模擬或數字(zi))能力(li)的傳感器(qi)”。傳感器(qi)是傳感器(qi)系統的壹(yi)個(ge)組(zu)成(cheng)部(bu)分(fen)，它(ta)是被(bei)測量信(xin)號輸(shu)入(ru)的*道關口。  

   （2）、傳感器(qi)的作用    

    人(ren)們(men)為了從(cong)外(wai)界獲(huo)取信(xin)息，必須(xu)借(jie)助(zhu)於(yu)感覺器(qi)官(guan)。而(er)單(dan)靠(kao)人(ren)們(men)自身(shen)的感覺器(qi)官(guan)，在(zai)研究(jiu)自然(ran)現象和規律(lv)以(yi)及(ji)生產活動中它(ta)們(men)的功(gong)能(neng)就(jiu)遠遠(yuan)不夠了。為適(shi)應(ying)這種(zhong)情(qing)況(kuang)，就(jiu)需要(yao)傳感器(qi)。因(yin)此(ci)可(ke)以(yi)說(shuo)，傳感器(qi)是人(ren)類五(wu)官(guan)的延長(chang)，又稱之(zhi)為電五(wu)官(guan)。  新技術(shu)革(ge)命(ming)的到來(lai)，世界開(kai)始(shi)進入信(xin)息時代(dai)。在(zai)利(li)用信(xin)息的過程(cheng)中，首先(xian)要解決(jue)的就(jiu)是要(yao)獲(huo)取準確(que)可靠的信(xin)息，而傳感器(qi)是獲(huo)取自然和生(sheng)產(chan)領(ling)域(yu)中信(xin)息的主要(yao)途(tu)徑與手段(duan)。 在(zai)現代(dai)工業(ye)生產(chan)尤其是自(zi)動化生產(chan)過(guo)程(cheng)中，要(yao)用各種(zhong)傳感器(qi)來(lai)監(jian)視(shi)和控(kong)制(zhi)生產過(guo)程(cheng)中的各個(ge)參(can)數，使設(she)備工(gong)作(zuo)在(zai)正常(chang)狀(zhuang)態或(huo)*狀(zhuang)態，並(bing)使產(chan)品(pin)達(da)到(dao)的質量。因此可以(yi)說(shuo)，沒(mei)有(you)眾多(duo)的優良(liang)的傳感器(qi)，現(xian)代(dai)化生(sheng)產也就(jiu)失去(qu)了基礎。    

   在(zai)基礎學科(ke)研(yan)究(jiu)中，傳感器(qi)更(geng)具(ju)有(you)突(tu)出(chu)的地位。現代(dai)科學(xue)技術(shu)的發展，進入了許多(duo)新領(ling)域(yu)：例(li)如在(zai)宏(hong)觀上(shang)要觀(guan)察(cha)上(shang)千光(guang)年(nian)的茫茫宇宙(zhou)，微觀(guan)上(shang)要觀(guan)察(cha)小(xiao)到(dao)fm的粒子(zi)世界，縱向上(shang)要觀(guan)察(cha)長(chang)達(da)數(shu)十萬(wan)年(nian)的天體演(yan)化，短(duan)到 s的瞬間反應(ying)。此外(wai)，還(hai)出(chu)現(xian)了對(dui)深化物(wu)質認(ren)識(shi)、開(kai)拓(tuo)新能源、新材(cai)料等(deng)具(ju)有(you)重要作用的各種(zhong)技(ji)術研究(jiu)，如(ru)超(chao)高溫(wen)、超(chao)低(di)溫(wen)、超(chao)高壓(ya)、超(chao)高真(zhen)空、*磁場、超弱磁場等(deng)等(deng)。顯(xian)然(ran)，要(yao)獲(huo)取大量人(ren)類感官(guan)無(wu)法(fa)直接獲(huo)取的信(xin)息，沒(mei)有(you)相適(shi)應(ying)的傳感器(qi)是不(bu)可能的。許多(duo)基礎科學(xue)研(yan)究(jiu)的障礙(ai)，首先(xian)就(jiu)在(zai)於對(dui)象信(xin)息的獲(huo)取存(cun)在(zai)困(kun)難，而(er)壹(yi)些(xie)新機(ji)理(li)和(he)高靈(ling)敏(min)度的檢(jian)測傳感器(qi)的出(chu)現(xian)，往(wang)往會導(dao)致(zhi)該(gai)領(ling)域(yu)內(nei)的突(tu)破。壹(yi)些(xie)傳感器(qi)的發展，往(wang)往(wang)是壹(yi)些(xie)邊緣(yuan)學(xue)科開(kai)發(fa)的。

    傳感器(qi)早(zao)已(yi)滲透(tou)到諸(zhu)如(ru)工業生產(chan)、宇宙(zhou)開(kai)發(fa)、海(hai)洋探(tan)測、環(huan)境(jing)保護(hu)、資(zi)源調查(zha)、醫學(xue)診斷(duan)、生物(wu)工程(cheng)、甚至(zhi)文(wen)物(wu)保護(hu)等(deng)等(deng)極(ji)其之(zhi)泛(fan)的領(ling)域(yu)。可(ke)以毫不誇(kua)張地說(shuo)，從(cong)茫茫的太(tai)空，到浩瀚的海洋，以(yi)至各種(zhong)復(fu)雜的工程(cheng)系統，幾乎(hu)每(mei)壹(yi)個(ge)現(xian)代(dai)化項(xiang)目，都離(li)不(bu)開(kai)各種(zhong)各樣的傳感器(qi)。  

    由(you)此(ci)可(ke)見(jian)，傳感器(qi)技(ji)術(shu)在(zai)發展經(jing)濟(ji)、推動社(she)會進步(bu)方面(mian)的重要作用，是十分(fen)明顯的。世界各國(guo)都十分(fen)重視(shi)這壹(yi)領(ling)域(yu)的發展。相(xiang)信(xin)不久(jiu)的將(jiang)來，傳感器(qi)技(ji)術(shu)將(jiang)會出(chu)現(xian)壹(yi)個(ge)飛(fei)躍(yue)，達(da)到(dao)與其重要地位相稱的新水平(ping)。    

  二、各種(zhong)類型傳感器(qi)

  （1）、電容式傳感器(qi)    

   電容式物(wu)位傳感器(qi)適(shi)用於工業(ye)企(qi)業在(zai)生產(chan)過程(cheng)中進行測量和控制生(sheng)產過程(cheng)，主要用作類導(dao)電與非導(dao)電介(jie)質的液(ye)體(ti)液(ye)位或粉粒狀(zhuang)固體(ti)料(liao)位的遠距(ju)離(li)連(lian)續測(ce)量和指(zhi)示。 電容式液(ye)位傳感器(qi)由(you)電容式傳感器(qi)與電子(zi)模塊電路組(zu)成(cheng)，它(ta)以兩線(xian)制(zhi)4～20mA恒(heng)定電流輸出(chu)為基型，經(jing)過(guo)轉換(huan)，可(ke)以(yi)用三線(xian)或(huo)四(si)線(xian)方(fang)式輸(shu)出(chu)，輸(shu)出(chu)信(xin)號形(xing)成(cheng)為 1～5V、0～5V、0～10mA等(deng)標準(zhun)信(xin)號。電容傳感器(qi)由(you)絕(jue)緣(yuan)電極和裝有(you)測量介(jie)質的圓柱(zhu)形(xing)金(jin)屬(shu)容器(qi)組(zu)成(cheng)。當(dang)料位上(shang)升(sheng)時(shi)，因非導(dao)電物(wu)料的介(jie)電常數明顯小(xiao)於(yu)空氣(qi)的介(jie)電常數，所以(yi)電容量隨著物(wu)料高度的變(bian)化(hua)而變(bian)化(hua)。傳感器(qi)的模塊電路由基準源、脈(mai)寬調制(zhi)、轉換(huan)、恒(heng)流(liu)放大(da)、反饋和(he)限流等(deng)單(dan)元(yuan)組(zu)成(cheng)。采用脈寬調特(te)原理(li)進行測量的優點是頻率(lv)較(jiao)低(di)，對(dui)周圍元(yuan)射(she)頻幹擾(rao)、穩(wen)定性好、線(xian)性好、無明顯溫(wen)度漂移等(deng)。  

   （2）、電感式傳感器(qi)  圖中介(jie)紹(shao)的是自(zi)感式傳感器(qi)。由(you)鐵(tie)心和線(xian)圈(quan)構成(cheng)的將(jiang)直線(xian)或(huo)角位移的變(bian)化(hua)轉換(huan)為線(xian)圈(quan)電感量變(bian)化(hua)的傳感器(qi)，又稱電感式位移傳感器(qi)。這種(zhong)傳感器(qi)的線(xian)圈(quan)匝數(shu)和材(cai)料導(dao)磁系數都是壹(yi)定的，其電感量的變(bian)化(hua)是由(you)於位移輸入量導(dao)致(zhi)線(xian)圈(quan)磁路的幾何(he)尺(chi)寸變(bian)化(hua)而引(yin)起的。當把(ba)線(xian)圈(quan)接入(ru)測量電路並接通(tong)激(ji)勵(li)電源時(shi)，就(jiu)可獲(huo)得(de)正(zheng)比於位移輸入量的電壓或電流輸出(chu)。

   電感式傳感器(qi)的特(te)點是：①無(wu)活動觸點、可靠(kao)度高、壽(shou)命(ming)長；②分(fen)辨(bian)率(lv)高；③靈(ling)敏(min)度高；④線(xian)性度高、重復(fu)性好；⑤測量範圍寬（測(ce)量範圍大(da)時(shi)分(fen)辨(bian)率(lv)低(di)）；⑥無輸(shu)入時(shi)有(you)零位輸出(chu)電壓，引(yin)起測量誤差；⑦對(dui)激(ji)勵(li)電源的頻率(lv)和(he)幅值穩(wen)定性要求較高；⑧不(bu)適(shi)用於高頻動態測(ce)量。電感式傳感器(qi)主(zhu)要(yao)用於位移測量和可以轉換(huan)成(cheng)位移變(bian)化(hua)的機(ji)械(xie)量（如力(li)、張力(li)、壓(ya)力(li)、壓(ya)差、加(jia)速(su)度、振動、應(ying)變(bian)、流(liu)量、厚度、液(ye)位、比重、轉矩等(deng)）的測量。常用電感式傳感器(qi)有(you)變(bian)間(jian)隙(xi)型、變(bian)面(mian)積型和(he)螺(luo)管(guan)插(cha)鐵(tie)型。在(zai)實(shi)際(ji)應(ying)用中，這三種(zhong)傳感器(qi)多(duo)制(zhi)成(cheng)差動(dong)式，以(yi)便(bian)提(ti)高線(xian)性度和減小(xiao)電磁吸力(li)所造(zao)成(cheng)的附加誤差。  變(bian)間(jian)隙(xi)型電感傳感器(qi)  這種(zhong)傳感器(qi)的氣(qi)隙(xi)δ隨(sui)被測量的變(bian)化(hua)而改變(bian),從(cong)而(er)改變(bian)磁阻（圖1）。它的靈敏(min)度和非(fei)線(xian)性都隨(sui)氣(qi)隙(xi)的增大(da)而(er)減小(xiao)，因(yin)此常常(chang)要考慮(lv)兩(liang)者兼顧。δ壹(yi)般取在(zai)0.1～0.5毫米(mi)之(zhi)間。  變(bian)面(mian)積型電感傳感器(qi)  這種(zhong)傳感器(qi)的鐵芯(xin)和(he)銜鐵之(zhi)間的相對(dui)覆(fu)蓋(gai)面(mian)積(ji)（即(ji)磁通截(jie)面）隨(sui)被(bei)測(ce)量的變(bian)化(hua)而改變(bian),從(cong)而(er)改變(bian)磁阻（圖2）。它的靈敏(min)度為常(chang)數(shu)，線(xian)性度也很(hen)好(hao)。  螺(luo)管(guan)插(cha)鐵(tie)型電感傳感器(qi)  它(ta)由(you)螺(luo)管(guan)線(xian)圈(quan)和與被測(ce)物(wu)體相連(lian)的柱型銜鐵構成(cheng)。其工(gong)作(zuo)原理(li)基於線(xian)圈(quan)磁力(li)線(xian)泄(xie)漏(lou)路(lu)徑上(shang)磁阻的變(bian)化(hua)。銜鐵隨(sui)被測(ce)物(wu)體移動(dong)時改(gai)變(bian)了線(xian)圈(quan)的電感量。這種(zhong)傳感器(qi)的量程(cheng)大，靈敏(min)度低(di)，結(jie)構簡(jian)單(dan)，便(bian)於(yu)制作。  （3）、壓電式傳感器(qi)

    基於壓(ya)電效應(ying)的傳感器(qi)。是壹(yi)種(zhong)自(zi)發電式和(he)機(ji)電轉換(huan)式傳感器(qi)。它(ta)的敏(min)感元(yuan)件由壓(ya)電材(cai)料制(zhi)成。壓電材(cai)料受(shou)力(li)後表面產(chan)生(sheng)電荷。此電荷經(jing)電荷放大(da)器(qi)和(he)測(ce)量電路放大(da)和變(bian)換(huan)阻抗(kang)後就(jiu)成為正(zheng)比於所受(shou)外(wai)力(li)的電量輸出(chu)。壓(ya)電式傳感器(qi)用於測量力(li)和(he)能(neng)變(bian)換(huan)為力(li)的非電物(wu)理(li)量。它的優點是頻帶寬、靈(ling)敏(min)度高、信(xin)噪比高、結(jie)構簡(jian)單(dan)、工(gong)作可靠和(he)重量輕(qing)等(deng)。缺(que)點是某(mou)些(xie)壓電材(cai)料需(xu)要防潮措(cuo)施(shi)，而(er)且(qie)輸(shu)出(chu)的直流響(xiang)應(ying)差，需(xu)要(yao)采用高輸(shu)入(ru)阻抗(kang)電路或電荷放大(da)器(qi)來(lai)克(ke)服這壹(yi)缺(que)陷(xian)。

   壓(ya)電式測(ce)力(li)傳感器(qi)  
   壓(ya)電式測(ce)力(li)傳感器(qi)是利(li)用壓電元(yuan)件直接實(shi)現(xian)力(li)-電轉換(huan)的傳感器(qi)，在(zai)拉(la)、壓場合，通(tong)常(chang)較多采用雙片或(huo)多(duo)片石英(ying)晶體(ti)作(zuo)為壓(ya)電元(yuan)件。其剛(gang)度大，測(ce)量範圍寬，線(xian)性及(ji)穩(wen)定性高，動(dong)態特(te)性好。當采用大時間(jian)常(chang)數的電荷放大(da)器(qi)時(shi)，可(ke)測(ce)量準靜(jing)態力(li)。按(an)測(ce)力(li)狀(zhuang)態分(fen)，有(you)單(dan)向、雙(shuang)向和(he)三向傳感器(qi)，它(ta)們(men)在(zai)結(jie)構上(shang)基本壹(yi)樣。  為壓(ya)電式單(dan)向測(ce)力(li)傳感器(qi)的結(jie)構圖。傳感器(qi)用於機(ji)床(chuang)動態切(qie)削(xue)力(li)的測量。絕緣(yuan)套(tao)用來絕緣(yuan)和(he)定位。基座內(nei)外(wai)底(di)面對(dui)其中心線(xian)的垂直度、上(shang)蓋及(ji)晶片(pian)、電極的上(shang)下底(di)面的平(ping)行度與表面光(guang)潔度都有(you)極嚴(yan)格(ge)的要求(qiu)，否(fou)則會使橫(heng)向靈(ling)敏(min)度增加(jia)或(huo)使片(pian)子(zi)因應(ying)力(li)集中而(er)過早破(po)碎。為提(ti)高絕(jue)緣(yuan)阻抗(kang)，傳感器(qi)裝(zhuang)配(pei)前(qian)要(yao)經(jing)過(guo)多(duo)次(ci)凈(jing)化（包(bao)括超(chao)聲波(bo)清洗(xi)），然(ran)後在(zai)超凈(jing)工作(zuo)環境(jing)下進行裝配(pei)，加(jia)蓋(gai)之(zhi)後用電子(zi)束(shu)封(feng)焊。  壓(ya)電式壓(ya)力(li)傳感器(qi)的結(jie)構類型很(hen)多(duo)，但(dan)它(ta)們(men)的基本原(yuan)理(li)與結(jie)構仍(reng)與壓電式加(jia)速(su)度和力(li)傳感器(qi)大(da)同小(xiao)異(yi)。突(tu)出(chu)的不同點是，它(ta)必須(xu)通(tong)過(guo)彈(dan)性膜、盒等(deng)，把(ba)壓(ya)力(li)收(shou)集、轉換(huan)成(cheng)力(li)，再(zai)傳遞給壓電元(yuan)件。為保證靜(jing)態特(te)性及(ji)其穩(wen)定性，通常多采用石英(ying)晶體(ti)作(zuo)為壓(ya)電元(yuan)件。  圖所示為壓(ya)縮(suo)式壓(ya)電加速(su)度傳感器(qi)的結(jie)構原(yuan)理(li)圖，壓電元(yuan)件壹(yi)般由兩(liang)片壓電片組(zu)成(cheng)。在(zai)壓電片的兩個(ge)表面上(shang)鍍銀層(ceng)，並在(zai)銀層(ceng)上(shang)焊接(jie)輸(shu)出(chu)引(yin)線(xian)，或(huo)在(zai)兩個(ge)壓電片之間夾(jia)壹(yi)片(pian)金(jin)屬(shu)，引(yin)線(xian)就(jiu)焊接(jie)在(zai)金(jin)屬(shu)片上(shang)，輸出(chu)端(duan)的另壹(yi)根(gen)引(yin)線(xian)直接與傳感器(qi)基座相(xiang)連。在(zai)壓電片上(shang)放置(zhi)壹(yi)個(ge)比重較大的質量塊，然後用壹(yi)硬(ying)彈(dan)簧(huang)或螺(luo)栓(shuan)、螺帽對(dui)質量塊預加(jia)載荷。整(zheng)個(ge)組(zu)件裝在(zai)壹(yi)個(ge)厚(hou)基座的金(jin)屬(shu)殼(ke)體(ti)中，為了隔(ge)離(li)試(shi)件的任何(he)應(ying)變(bian)傳遞到壓電元(yuan)件上(shang)去，避免產生假(jia)信(xin)號輸(shu)出(chu)，所以(yi)壹(yi)般要加(jia)厚基座或(huo)選(xuan)用剛(gang)度較大(da)的材(cai)料來(lai)制造(zao)。  測(ce)量時，將(jiang)傳感器(qi)基座與試件剛(gang)性固定在(zai)壹(yi)起(qi)。當(dang)傳感器(qi)感(gan)受(shou)到(dao)振動時(shi)，由(you)於彈(dan)簧(huang)的剛(gang)度相當(dang)大(da)，而質量塊的質量相對(dui)較小(xiao)，可(ke)以認(ren)為質量塊的慣(guan)性很(hen)小(xiao)，因(yin)此質量塊感受(shou)到(dao)與傳感器(qi)基座相(xiang)同的振動，並(bing)受(shou)到(dao)與加速(su)度方向相(xiang)反(fan)的慣(guan)性力(li)作(zuo)用。這樣，質量塊就(jiu)有(you)壹(yi)正(zheng)比於加(jia)速(su)度的交變(bian)力(li)作(zuo)用在(zai)壓電片上(shang)。由於(yu)壓電片具有(you)壓電效應(ying)，因此在(zai)它的兩個(ge)表面上(shang)就(jiu)產生(sheng)了交變(bian)電荷（電壓），當振動頻率(lv)遠(yuan)低(di)於傳感器(qi)固(gu)有(you)頻率(lv)時(shi)，傳感器(qi)的輸出(chu)電荷（電壓）與作用力(li)成(cheng)正(zheng)比，即與試件的加速(su)度成正(zheng)比。輸出(chu)電量由傳感器(qi)輸(shu)出(chu)端(duan)引(yin)出(chu)，輸(shu)入(ru)到前置放大(da)器(qi)後就(jiu)可以(yi)用普通的測量器(qi)測(ce)出(chu)試(shi)件的加速(su)度，如在(zai)放大(da)器(qi)中加(jia)進適(shi)當的積分(fen)電路，就(jiu)可以(yi)測出(chu)試(shi)件的振動加(jia)速(su)度或位移。