技(ji)術(shu)是傳(chuan)感器技(ji)術(shu)發展的(de)保(bao)證與(yu)機遇(yu)

   可以毫(hao)不誇張地(di)說(shuo)，從茫(mang)茫(mang)的(de)太空，到(dao)浩瀚(han)的(de)海洋，以至各(ge)種(zhong)復雜的(de)工(gong)程系統(tong)，幾乎(hu)每(mei)壹個現代化(hua)項目，都(dou)離不開(kai)各(ge)種(zhong)各(ge)樣的(de)傳(chuan)感器。幾(ji)十年(nian)來(lai)，以微(wei)電(dian)子技(ji)術(shu)為(wei)基(ji)礎(chu)，促(cu)進了(le)傳(chuan)感器技(ji)術(shu)的(de)發展。所(suo)以，技(ji)術(shu)是傳(chuan)感器技(ji)術(shu)發展的(de)保(bao)證與(yu)機遇(yu)。

　　我(wo)國位(wei)移(yi)傳(chuan)感器，稱(cheng)重(zhong)傳(chuan)感器，壓力傳(chuan)感器技(ji)術(shu)已(yi)經(jing)成熟，分(fen)析(xi)儀(yi)器(qi)產(chan)業迫(po)切需(xu)要新型(xing)傳(chuan)感器。分(fen)析(xi)儀(yi)器(qi)是我國(guo)科(ke)技(ji)、經(jing)濟和社(she)會(hui)持(chi)續(xu)發展的(de)基(ji)礎(chu)，無(wu)論在(zai)工(gong)業過程控(kong)制、設(she)施農(nong)業、生物醫(yi)學(xue)、環(huan)境控(kong)制、食(shi)品(pin)安(an)全(quan)乃(nai)至(zhi)航空航天(tian)、*等領域(yu)，均迫(po)切需(xu)要各(ge)類新型(xing)傳(chuan)感器作為信息(xi)攝(she)取源的(de)小(xiao)型化(hua)、化(hua)、簡(jian)用化(hua)、家庭(ting)化(hua)(甚至個人(ren)化(hua))的(de)新壹代分析儀(yi)器(qi)，實(shi)現更(geng)靈(ling)敏、更(geng)準(zhun)確(que)、更(geng)快(kuai)速(su)、更(geng)可靠地實(shi)時(shi)檢(jian)測，以迅速(su)改(gai)變(bian)我(wo)國(guo)分析儀(yi)器(qi)的(de)落後狀況(kuang)。

　　未來(lai)10～20年(nian)，傳(chuan)統(tong)矽技(ji)術(shu)將進入成(cheng)熟期(預(yu)測(ce)為(wei)2014年(nian)～2017年)。屆時(shi)，直(zhi)徑(jing)300mm矽晶片(pian)將大量(liang)用於生產(chan)，使(shi)得(de)矽的(de)低(di)成(cheng)本制造(zao)技(ji)術(shu)和(he)矽(gui)的(de)應(ying)用技(ji)術(shu)將得(de)到(dao)的(de)發展，這無(wu)疑將為(wei)研制生產(chan)微(wei)型(xing)傳(chuan)感器、智(zhi)能(neng)傳(chuan)感器等(deng)新型(xing)傳(chuan)感器提供(gong)技(ji)術(shu)保(bao)障(zhang)。

　　從體(ti)發展看，傳(chuan)統(tong)矽技(ji)術(shu)將壹直(zhi)延續(xu)到(dao)2047年(即(ji)晶體(ti)管發明100周年(nian))才(cai)趨於飽(bao)和(he)(即(ji)達(da)到(dao)芯(xin)片(pian)特(te)征尺(chi)寸(cun)的(de)極限(xian))和(he)衰(shuai)退(tui)。而當前微(wei)電(dian)子技(ji)術(shu)仍將依循(xun)“等(deng)縮比原(yuan)理”和“摩爾(er)定律”兩條基(ji)礎規(gui)律(lv)走下去(qu)，在盡(jin)力逼近傳(chuan)統(tong)矽技(ji)術(shu)極限(xian)中(zhong)，不斷(duan)擴展(zhan)矽的(de)跨(kua)學(xue)科(ke)橫(heng)向應(ying)用(如(ru)MEMS等(deng))和(he)突(tu)破“非穩態(tai)物理(li)器件”(量(liang)子、分子器(qi)件(jian))，而上述(shu)微(wei)電(dian)子技(ji)術(shu)發展中(zhong)的(de)兩大方向(xiang)正是當前乃至(zhi)未(wei)來(lai)20年(nian)傳(chuan)感器技(ji)術(shu)的(de)主(zhu)要(yao)發展方向(xiang)。

　　同時(shi)，多(duo)學(xue)科(ke)、多(duo)種(zhong)高新技(ji)術(shu)的(de)交叉(cha)融(rong)合(he)，推動了(le)新壹代傳(chuan)感器的(de)誕(dan)生與(yu)發展。例如(ru)：當前我國(guo)正(zheng)在(zai)重(zhong)點開發的(de)MEMS(微(wei)電(dian)子與(yu)微(wei)機械(xie)的(de)結合(he))、MOMES(MEMS與(yu)微(wei)光(guang)學(xue)的(de)結合(he))、智(zhi)能(neng)傳(chuan)感器(MEMS與(yu)CPU、信息(xi)控制技(ji)術(shu)的(de)結合(he))、生物化(hua)學(xue)傳(chuan)感器(MEMS與(yu)生物技(ji)術(shu)、電(dian)化(hua)學(xue)的(de)結合(he))等以及今後將大力開(kai)發的(de)網(wang)絡化(hua)傳(chuan)感器。